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| 041 | 7 |
_aen _2ISO 639-1 |
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| 091 | _a50893 | ||
| 100 | 1 | _aJackson, Mark J. | |
| 245 | 1 | 0 | _aMicro and nanomanufacturing. |
| 260 |
_aNew York, N.Y. : _bSpringer, _c2007. |
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| 300 |
_ax, 699 p. : _bil., tabla, diagr. ; 23,5 cm. |
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| 500 | _aBibliografía al final de cada capítulo | ||
| 650 | 4 | _aNANOTECNOLOGIA | |
| 650 | 4 | _aMICROFABRICACION | |
| 650 | 4 | _aNANOMANUFACTURA | |
| 999 |
_c25856 _d25856 |
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