| 000 | 00794nam a2200253 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 008 | 170703s2003####xxuad||f#|||||00| 0#eng#d | ||
| 003 | AR-SmCIES | ||
| 020 | _a0471201693 | ||
| 020 | _a9780471201694 | ||
| 041 | 7 |
_aen _2ISO 639-1 |
|
| 091 | _a50800 | ||
| 100 | 1 | _aRebeiz, Gabriel Michel | |
| 245 | 1 | 0 | _aRF MEMS : theory, design and technology. |
| 260 |
_aHoboken, N.J. : _bWiley Interscience, _c2003. |
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| 300 |
_axx, 483 p. : _bil., tabla, diagr. |
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| 500 | _aApéndices: p.457-477 | ||
| 500 | _aBibliografía al final de cada capítulo | ||
| 650 | 4 | _aMICROELECTRONICA | |
| 650 | 4 | _aDISPOSITIVOS MEMS | |
| 650 | 4 | _aMICROONDAS | |
| 650 | 4 | _aSISTEMAS MICROELECTROMECANICOS | |
| 999 |
_c25728 _d25728 |
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