| 000 | 00939nam a2200265 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 008 | 170703s2002####xxuad||f#|||||00| 0#eng#d | ||
| 003 | AR-SmCIES | ||
| 020 | _a0849308267 | ||
| 041 | 7 |
_aen _2ISO 639-1 |
|
| 091 | _a50590 | ||
| 100 | 1 | _aMadou, Marc J. | |
| 245 | 1 | 0 | _aFundamentals of microfabrication : the science of miniaturization. |
| 260 |
_aBoca Raton, Fla. : _bCRC press, _c2002. |
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| 300 |
_a723 p. : _bil., tabla, diagr. |
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| 500 | _aApéndices: p.669-702 | ||
| 500 | _aEjercicios y bibliografía al final de cada capítulo | ||
| 580 | _aEd. anterior: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 3.ed.. Inventario: 50895 | ||
| 650 | 4 | _aSEMICONDUCTORES -DISPOSITIVOS | |
| 650 | 4 | _aMICROELECTROMECANICA | |
| 650 | 4 | _aMICROELECTRONICA | |
| 650 | 4 | _aMICROFABRICACION | |
| 650 | 4 | _aNANOTECNOLOGIA | |
| 999 |
_c25509 _d25509 |
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