| 000 | 00751nam a2200253 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 008 | 170703s1995####gw a|||f#|||||00| 0#ger#d | ||
| 003 | AR-SmCIES | ||
| 022 | _a0936-0891 | ||
| 024 | 8 | _aHMI-B-524 | |
| 041 | 7 |
_ade _2ISO 639-1 |
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| 091 | _a46431 | ||
| 100 | 1 | _aEmmelmann, K. | |
| 710 | 2 | _aHahn-Meitner-Institut Berlin Gmb^pDE | |
| 245 | 1 | 0 | _aWissensbasierte Ansätze zur Optimierung und Steuerung von Plasmadepositionsexperimenten. |
| 260 |
_aBerlin : _bHMI, _c1995. |
||
| 300 |
_a46 p. : _bil. |
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| 500 | _aBibliografía: p. 32-35 | ||
| 700 | 1 |
_aMädler, F. _eDr. |
|
| 700 | 1 | _aRisius, J. | |
| 700 | 1 | _aSchirmacher, P. | |
| 700 | 1 | _aSeidelmann, G. | |
| 999 |
_c18686 _d18686 |
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