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| 022 | _a0947-8620 | ||
| 024 | 8 | _aFZKA-5576 | |
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_ade _2ISO 639-1 |
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| 041 | 7 |
_aen _2ISO 639-1 |
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| 091 | _a46409 | ||
| 100 | 1 | _aKalb, H. | |
| 710 | 2 | _aForschungszentrum Karlsruhe^pDE | |
| 245 | 1 | 0 | _aGrundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren. |
| 260 |
_aKarlsruhe : _bFZKA, _c1995. |
||
| 300 |
_a93 p. : _bil. |
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| 500 | _aBibliografía: p. 88-92 | ||
| 700 | 1 | _aBacher, W. | |
| 700 | 1 | _aHarmening, M. | |
| 700 | 1 | _aRuprecht, R. | |
| 999 |
_c18665 _d18665 |
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