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| 041 | 7 |
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| 100 | 1 | _aKöhler, U. | |
| 710 | 2 | _aForschungszentrum Karlsruhe^pDE | |
| 245 | 1 | 0 | _aPlasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. |
| 260 |
_aKarlsruhe : _bFZKA, _c1995. |
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| 300 |
_a52 p. : _bil. |
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| 500 | _aBibliografía: p.50-52 | ||
| 700 | 1 | _aGuber, A. | |
| 700 | 1 | _aBier, W. | |
| 999 |
_c18636 _d18636 |
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