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| 100 | 1 | _aStrohrmann, M. | |
| 710 | 2 | _aForschungszentrum Karlsruhe^pDE | |
| 245 | 1 | 0 | _aIntelligents Mikrosystem zur messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik. |
| 260 |
_aKarlsruhe : _bFZKA, _c1995. |
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| 300 |
_a119 p. : _bil. |
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| 500 | _aBibliografiía: p.105-109 | ||
| 700 | 1 | _aMohr, J. | |
| 700 | 1 | _aSchulz, J. | |
| 999 |
_c18631 _d18631 |
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