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| 100 | 1 | _aJansohn, W. | |
| 710 | 2 | _aForschungszentrum Karlsruhe^pDE | |
| 245 | 1 | 0 | _aBerechnung des Verformungs- verhaltens einer Mikrobiegevorrichtung. |
| 260 |
_aKarlsruhe : _bFZKA, _c1995. |
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| 300 |
_a60 p. : _bil. |
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| 500 | _aBibliografiía: p.53-54 | ||
| 700 | 1 | _aPiesch, P. | |
| 700 | 1 | _aReinke, T.J. | |
| 700 | 1 | _aTsakmakis, Ch. | |
| 999 |
_c18621 _d18621 |
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