TY  - BOOK
AU  - Townsend,P.D.
AU  - Kelly,J.C.
AU  - Hartley,N.E.W.
TI  - Ion implantation, sputtering and their applications
PY  - 1976///
CY  - London, New York
PB  - Academic Press
KW  - ION IMPLANTATION
KW  - inist
KW  - IMPLANTACION DE IONES
KW  - CHISPORROTEO
KW  - SPUTTERING
N1  - Bibliografía al final de cada capítulo
ER  -