Townsend, P. D. <br/><br/>
Ion implantation, sputtering and their applications / 
by P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley. 
 - London ;  New York :  Academic Press,  1976. 
 - ix, 333 p. :  il. ;  24 cm. 
<br/><br/>Bibliografía al final de cada capítulo. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>ION IMPLANTATION<br/>IMPLANTACION DE IONES<br/>CHISPORROTEO<br/>SPUTTERING
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>539.188