TY  - BOOK
AU  - Freund,L.Ben
AU  - Suresh,Subra
TI  - Thin film materials : stress, defect formation and surface evolution
SN  - 9780521529778
PY  - 2003///
CY  - New York
PB  - Cambridge University press
KW  - PELICULAS DELGADAS [FISICA]
KW  - SEMICONDUCTORES -DISPOSITIVOS
N1  - Notas de pie de página; Ejercicios al final de cada capítulo; Bibliografía: p.713-737
ER  -