Freund, L. Ben Thin film materials : stress, defect formation and surface evolution. - New York : Cambridge University press, 2003. - xviii, 750 p. : il., tabla, diagr. Notas de pie de página Ejercicios al final de cada capítulo Bibliografía: p.713-737 ISBN: 9780521529778 9780521822817 Subjects--Topical Terms: PELICULAS DELGADAS [FISICA]SEMICONDUCTORES -DISPOSITIVOS