TY  - BOOK
AU  - Reinhardt,Karen A.
AU  - Kern,Werner
TI  - Handbook of silicon wafer cleaning technology
T2  - Materials science and process technology series
SN  - 9780815515548
PY  - 2008///
CY  - Norwich, N.Y.
PB  - W. Andrew
KW  - SEMICONDUCTORES -DISPOSITIVOS -MANUALES
KW  - TECNOLOGIA DE SILICIO -MANUALES
N1  - Bibliografía al final de cada capítulo
ER  -