Reinhardt, Karen A. <br/><br/>
Handbook of silicon wafer cleaning technology. 

 - Norwich, N.Y. :  W. Andrew,  2008. 
 - xxvi, 718 p. :  il., tabla, diagr. 
 - Materials science and process technology series .
 - Materials science and process technology series .
<br/><br/> Bibliografía al final de cada capítulo 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9780815515548 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>SEMICONDUCTORES -DISPOSITIVOS -MANUALES<br/>TECNOLOGIA DE SILICIO -MANUALES