Madou, Marc J. <br/><br/>
Solidstate physics, fluidics, and analytical techniques in micro and nanotechnology 

 - Boca Raton; London; New York :  CRC press Taylor and Francis Group,  2012. 
 - 3 v. :  il., tabla, diagr. 
<br/><br/> Título de la 1.ed.: 'Fundamentals of microfabrication'  Título de la 2.ed.: 'Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization'  Ejercicios y bibliografía al final de cada capítulo 
<br/><br/>Ed. anterior: Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization.  2.ed.. Inventario: 50590 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9781420055115 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>SEMICONDUCTORES -DISPOSITIVOS<br/>MICROELECTROMECANICA<br/>MICROELECTRONICA<br/>MICROFABRICACION<br/>NANOTECNOLOGIA