TY - BOOK AU - Jackson,Mark J. TI - Micro and nanomanufacturing SN - 9781441938459 PY - 2007/// CY - New York, N.Y. PB - Springer KW - NANOTECNOLOGIA KW - MICROFABRICACION KW - NANOMANUFACTURA N1 - Bibliografía al final de cada capítulo ER -