Jackson, Mark J. <br/><br/>
Micro and nanomanufacturing. 

 - New York, N.Y. :  Springer,  2007. 
 - x, 699 p. :  il., tabla, diagr.  ;  23,5 cm. 
<br/><br/> Bibliografía al final de cada capítulo 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9781441938459 9780387261324 038726132X 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>NANOTECNOLOGIA<br/>MICROFABRICACION<br/>NANOMANUFACTURA