TY  - BOOK
AU  - Rebeiz,Gabriel Michel
TI  - RF MEMS : theory, design and technology
SN  - 0471201693
PY  - 2003///
CY  - Hoboken, N.J.
PB  - Wiley Interscience
KW  - MICROELECTRONICA
KW  - DISPOSITIVOS MEMS
KW  - MICROONDAS
KW  - SISTEMAS MICROELECTROMECANICOS
N1  - Apéndices: p.457-477; Bibliografía al final de cada capítulo
ER  -