Rebeiz, Gabriel Michel <br/><br/>
RF MEMS : theory, design and technology. 

 - Hoboken, N.J. :  Wiley Interscience,  2003. 
 - xx, 483 p. :  il., tabla, diagr. 
<br/><br/> Apéndices: p.457-477  Bibliografía al final de cada capítulo 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0471201693 9780471201694 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>MICROELECTRONICA<br/>DISPOSITIVOS MEMS<br/>MICROONDAS<br/>SISTEMAS MICROELECTROMECANICOS