TY  - BOOK
AU  - Madou,Marc J.
TI  - Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization
SN  - 0849308267
PY  - 2002///
CY  - Boca Raton, Fla.
PB  - CRC press
KW  - SEMICONDUCTORES -DISPOSITIVOS
KW  - MICROELECTROMECANICA
KW  - MICROELECTRONICA
KW  - MICROFABRICACION
KW  - NANOTECNOLOGIA
N1  - Apéndices: p.669-702; Ejercicios y bibliografía al final de cada capítulo
ER  -