TY  - BOOK
AU  - Townsend,Peter David
AU  - Chandler,P.J.
AU  - Zhang,L.
TI  - Optical effects of ion implantation
T2  - Cambridge studies in modern optics, v.<31>
SN  - 0521394309
PY  - 1994///
CY  - Cambridge
PB  - Cambridge University press
KW  - OPTICA IONICA
KW  - IMPLANTACION DE IONES
KW  - MATERIALES -PROPIEDADES OPTICAS
KW  - MICROELECTRONICA
N1  - Bibliografía al final de cada capítulo
ER  -