TY  - BOOK
AU  - Wilson,Robert G.
AU  - Brewer,George Raymond
TI  - Ion beams : with applications to ion implantation
SN  - 0882758993
PY  - 1973///
CY  - Huntington, N.Y.
PB  - R. Krieger
KW  - OPTICA IONICA
KW  - IMPLANTACION DE IONES
KW  - SEMICONDUCTORES
KW  - MICROELECTRONICA
N1  - Reprint edition 1979 with corrections; Tablas 2, adjuntas a contratapa; Bibliografía al final de cada capítulo
ER  -