Wilson, Robert G.
Ion beams : with applications to ion implantation.
- Huntington, N.Y. : R. Krieger, 1973.
- xxi, 500 p. : il., tabla
Reprint edition 1979 with corrections Tablas 2, adjuntas a contratapa BibliografĂa al final de cada capĂtulo
0882758993
OPTICA IONICA
IMPLANTACION DE IONES
SEMICONDUCTORES
MICROELECTRONICA