TY  - BOOK
AU  - Lieberman,Michael A.
AU  - Lichtenberg,Allan J.
TI  - Principles of plasma discharges and materials processing
SN  - 0471005770
PY  - 1994///
CY  - New York
PB  - John Wiley
KW  - PLASMA, FISICA DEL
KW  - PELICULAS DELGADAS [FISICA]
KW  - ESTADO SOLIDO DEFECTOS
N1  - Apéndices y bibliografía: p.541-564
ER  -