Lieberman, Michael A. <br/><br/>
Principles of plasma discharges and materials processing. 

 - New York :  John Wiley,  1994. 
 - xxvi, 572 p. :  diagr. 
<br/><br/> Apéndices y bibliografía: p.541-564 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0471005770 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>PLASMA, FISICA DEL<br/>PELICULAS DELGADAS [FISICA]<br/>ESTADO SOLIDO DEFECTOS