TY  - BOOK
AU  - Cuomo,Jerome J.
AU  - Rossnagel,Stephen M.
AU  - Kaufman,Harold R.
TI  - Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification and synthesis
T2  - Materials science and process technology series
PY  - 1989///
CY  - Park Ridge, N.J.
PB  - Noyes publ.
KW  - OPTICA IONICA -MANUALES
KW  - BOMBARDEO DE IONES -APLICACIONES [INDUSTRIA] -MANUALES
KW  - IMPLANTACION DE IONES -MANUALES
N1  - Bibliografía al final de cada capítulo
ER  -