TY  - BOOK
AU  - Pouch,J.J.
AU  - Alterovitz,S.A.
TI  - Plasma properties, deposition and etching
SN  - 087849670X
SN  - 02555476
PY  - 1993///
CY  - Aedermannsdorf
PB  - Trans Tech Publications
KW  - PLASMA, FISICA DEL
N1  - Bibliografía al final de cada trabajo; Publicación de la revista "Materials science forum" vol.140/142 de 1993
ER  -