Pouch, J. J. <br/><br/>
Plasma properties, deposition and etching. 

 - Aedermannsdorf :  Trans Tech Publications,  1993. 
 - x, 742 p. :  il. 
<br/><br/> Bibliografía al final de cada trabajo  Publicación de la revista "Materials science forum" vol.140/142 de 1993 
<br/><br/><label>ISBN: </label>087849670X 
<br/><br/><label>ISSN: </label>02555476 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>PLASMA, FISICA DEL