TY  - BOOK
AU  - Emmelmann,K.
AU  - Mädler,F.
AU  - Risius,J.
AU  - Schirmacher,P.
AU  - Seidelmann,G.
ED  - Hahn-Meitner-Institut Berlin Gmb^pDE
TI  - Wissensbasierte Ansätze zur Optimierung und Steuerung von Plasmadepositionsexperimenten
SN  - 0936-0891
PY  - 1995///
CY  - Berlin
PB  - HMI
N1  - Bibliografía: p. 32-35
ER  -