TY  - BOOK
AU  - Kalb,H.
AU  - Bacher,W.
AU  - Harmening,M.
AU  - Ruprecht,R.
ED  - Forschungszentrum Karlsruhe^pDE
TI  - Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren
SN  - 0947-8620
PY  - 1995///
CY  - Karlsruhe
PB  - FZKA
N1  - Bibliografía: p. 88-92
ER  -