TY  - BOOK
AU  - Köhler,U.
AU  - Guber,A.
AU  - Bier,W.
ED  - Forschungszentrum Karlsruhe^pDE
TI  - Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom
SN  - 0947-8620
PY  - 1995///
CY  - Karlsruhe
PB  - FZKA
N1  - Bibliografía: p.50-52
ER  -