Köhler, U. <br/><br/>
Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. 

 - Karlsruhe :  FZKA,  1995. 
 - 52 p. :  il. 
<br/><br/> Bibliografía: p.50-52 
<br/><br/><label>ISSN: </label>0947-8620 
<br/><br/><label>Standard No.: </label>FZKA-5574