TY  - BOOK
AU  - Strohrmann,M.
AU  - Mohr,J.
AU  - Schulz,J.
ED  - Forschungszentrum Karlsruhe^pDE
TI  - Intelligents Mikrosystem zur messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik
SN  - 0947-8620
PY  - 1995///
CY  - Karlsruhe
PB  - FZKA
N1  - Bibliografiía: p.105-109
ER  -