TY  - BOOK
AU  - Jansohn,W.
AU  - Piesch,P.
AU  - Reinke,T.J.
AU  - Tsakmakis,Ch
ED  - Forschungszentrum Karlsruhe^pDE
TI  - Berechnung des Verformungs- verhaltens einer Mikrobiegevorrichtung
SN  - 0947-8620
PY  - 1995///
CY  - Karlsruhe
PB  - FZKA
N1  - Bibliografiía: p.53-54
ER  -