Vollmer, J. <br/><br/>
Microminiature fluidic beam elements in LIGA-technique with integrated electrical control. 
= Miniaturisierte fluidische strahlemente in LIGA-technik mit integrierter elektrischer steuerung. 


 - Karlsruhe :  Kfk,  1994. 
 - 89 p. 
<br/><br/><label>ISSN: </label>0303-4003 
<br/><br/><label>Standard No.: </label>KfK 5375