Solidstate physics, fluidics, and analytical techniques in micro and nanotechnology
Madou, Marc J.
Solidstate physics, fluidics, and analytical techniques in micro and nanotechnology - Boca Raton; London; New York : CRC press Taylor and Francis Group, 2012. - 3 v. : il., tabla, diagr.
Título de la 1.ed.: 'Fundamentals of microfabrication' Título de la 2.ed.: 'Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization' Ejercicios y bibliografía al final de cada capítulo
Ed. anterior: Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization. 2.ed.. Inventario: 50590
9781420055115
SEMICONDUCTORES -DISPOSITIVOS
MICROELECTROMECANICA
MICROELECTRONICA
MICROFABRICACION
NANOTECNOLOGIA
Solidstate physics, fluidics, and analytical techniques in micro and nanotechnology - Boca Raton; London; New York : CRC press Taylor and Francis Group, 2012. - 3 v. : il., tabla, diagr.
Título de la 1.ed.: 'Fundamentals of microfabrication' Título de la 2.ed.: 'Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization' Ejercicios y bibliografía al final de cada capítulo
Ed. anterior: Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization. 2.ed.. Inventario: 50590
9781420055115
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