RF MEMS : theory, design and technology.

Rebeiz, Gabriel Michel

RF MEMS : theory, design and technology. - Hoboken, N.J. : Wiley Interscience, 2003. - xx, 483 p. : il., tabla, diagr.

Apéndices: p.457-477 Bibliografía al final de cada capítulo

0471201693 9780471201694


MICROELECTRONICA
DISPOSITIVOS MEMS
MICROONDAS
SISTEMAS MICROELECTROMECANICOS