RF MEMS : theory, design and technology.
RF MEMS : theory, design and technology. - Hoboken, N.J. : Wiley Interscience, 2003. - xx, 483 p. : il., tabla, diagr.
Apéndices: p.457-477 Bibliografía al final de cada capítulo
0471201693 9780471201694
MICROELECTRONICA
DISPOSITIVOS MEMS
MICROONDAS
SISTEMAS MICROELECTROMECANICOS