Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization.

Madou, Marc J.

Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization. - Boca Raton, Fla. : CRC press, 2002. - 723 p. : il., tabla, diagr.

Apéndices: p.669-702 Ejercicios y bibliografía al final de cada capítulo

Ed. anterior: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 3.ed.. Inventario: 50895

0849308267


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