Principles of plasma discharges and materials processing.
Lieberman, Michael A.
Principles of plasma discharges and materials processing. - New York : John Wiley, 1994. - xxvi, 572 p. : diagr.
Apéndices y bibliografía: p.541-564
0471005770
PLASMA, FISICA DEL
PELICULAS DELGADAS [FISICA]
ESTADO SOLIDO DEFECTOS
Principles of plasma discharges and materials processing. - New York : John Wiley, 1994. - xxvi, 572 p. : diagr.
Apéndices y bibliografía: p.541-564
0471005770
PLASMA, FISICA DEL
PELICULAS DELGADAS [FISICA]
ESTADO SOLIDO DEFECTOS
