Wissensbasierte Ansätze zur Optimierung und Steuerung von Plasmadepositionsexperimenten.

Emmelmann, K.

Wissensbasierte Ansätze zur Optimierung und Steuerung von Plasmadepositionsexperimenten. - Berlin : HMI, 1995. - 46 p. : il.

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0936-0891

HMI-B-524