Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren.

Kalb, H.

Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren. - Karlsruhe : FZKA, 1995. - 93 p. : il.

Bibliografía: p. 88-92

ISSN: 0947-8620

Standard No.: FZKA-5576

Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren.

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Kalb H., Bacher W., Harmening M., Ruprecht R. & Forschungszentrum Karlsruhe^pDE. (1995). Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren. Karlsruhe: FZKA.

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Kalb H, Bacher W, Harmening M, Ruprecht R and Forschungszentrum Karlsruhe^pDE. 1995. Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren. Karlsruhe: FZKA.

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