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Köhler U., Guber A., Bier W. & Forschungszentrum Karlsruhe^pDE. (1995). Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. Karlsruhe: FZKA.
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Köhler U, Guber A, Bier W and Forschungszentrum Karlsruhe^pDE. 1995. Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. Karlsruhe: FZKA.
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Köhler U., Guber A., Bier W. and Forschungszentrum Karlsruhe^pDE. (1995). Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. Karlsruhe: FZKA.
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Köhler U, Guber A, Bier W and Forschungszentrum Karlsruhe^pDE. Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. Karlsruhe: FZKA. 1995.