Intelligents Mikrosystem zur messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik.

Strohrmann, M.

Intelligents Mikrosystem zur messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik. - Karlsruhe : FZKA, 1995. - 119 p. : il.

Bibliografiía: p.105-109

ISSN: 0947-8620

Standard No.: FZKA-5561

Intelligents Mikrosystem zur messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik.

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Strohrmann M., Mohr J., Schulz J. & Forschungszentrum Karlsruhe^pDE. (1995). Intelligents Mikrosystem zur messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik. Karlsruhe: FZKA.

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Strohrmann M, Mohr J, Schulz J and Forschungszentrum Karlsruhe^pDE. 1995. Intelligents Mikrosystem zur messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik. Karlsruhe: FZKA.

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