Microminiature fluidic beam elements in LIGA-technique with integrated electrical control.
Vollmer, J.
Microminiature fluidic beam elements in LIGA-technique with integrated electrical control. = Miniaturisierte fluidische strahlemente in LIGA-technik mit integrierter elektrischer steuerung. - Karlsruhe : Kfk, 1994. - 89 p.
0303-4003
KfK 5375
Microminiature fluidic beam elements in LIGA-technique with integrated electrical control. = Miniaturisierte fluidische strahlemente in LIGA-technik mit integrierter elektrischer steuerung. - Karlsruhe : Kfk, 1994. - 89 p.
0303-4003
KfK 5375